仪器说明：Apreo S功能丰富的高性能场发射扫描电镜。主要原理是利用高能电子束轰击样品表面，激发出样品物理信号，再通过信号探测器接受转化成图像信息。Apreo 的复合透镜设计结合了静电和磁浸没技术，可产生优秀的高分辨率和信号选择，在 1 kV加速电压下的分辨率为 1.0 nm，不需要电子束减速。Apreo S 还配有透镜内背散射探测器 T1，其位置紧靠样品，确保在较短的时间内获得最大量的采集信号。快速的探测器在导航时、倾斜时或工作距离很短时能够始终保持良好的材料衬度。即使电流低至几 pA，它也能提供清晰的背散射图像。Apreo S适用于研究表征观察纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件等材料形貌，并且不会降低对磁性样品的分辨能力。

技术参数：

电子束分辨率

型号：Apreo S

末级透镜：复合式（静电、浸没式磁场的复合透镜）

高真空

15KV 0.7nm

1kV 1.0 nm

1 KV （样台减速） 0.8 nm

500V （样台减速） 0.9 nm

100V （样品减速） 1.8nm

低真空

15KV 1.0 nm

3KV 1.8 nm

电子束参数

• 电子束电流范围: 1 pA - 400 nA

• 加速电压: 200 V – 30 kV

• 着陆能量范围: 20 eV – 30 keV

• 最大水平视场宽：10 mm 工作距离下为 3.0 mm（对应于 最小

放大倍率 x29）

• 10mm 分析工作距离 1kV 时电子束分辨率: 1nm

载物台和样品

类型 共心测角台，5 轴电动

XY 110 × 110 mm

重复性< 3.0 _m (0° 倾斜时)

电动 Z 65 mm

旋转n × 360°

倾斜-15° / +90°

最大样品高度距共心点 85mm

最大样品重量任意载物台位置均为 500g

最大样品尺寸可沿 X、Y 轴完全旋转时直径为 122

mm（若样品超过此限值，则载物台行程或旋转受限）